台积电美国厂罕见开箱片 「银色高速公路」太震撼
来源：倍可亲(backchina.com)晶圆製造巨擘台积电（TSMC）罕见地向外界揭露了其位于美国亚利桑那州的「Fab 21晶圆厂」的内部实况，其中最引人注目的莫过于被誉为「银色高速公路」的晶圆自动化物料搬运系统（AMHS），以及极紫外光（EUV）微影设备的详细运作流程，其运作时所散发出的紫色电浆光芒，宛如一座持续发光的「小宇宙」。
根据资讯科技网站《Tom's Hardware》的报导，在公开的影片中，镜头穿梭于无尘室之间，为了避免短波长光线对光阻剂造成不必要的影响，以确保製程的精准度，此处特别採用黄光照明。
随后映入眼帘的是被称作「银色高速公路」的台积电自动化物料搬运系统，数百个承载着300毫米晶圆的前开式晶圆传输盒（FOUPs）正忙碌地在高架轨道上自动运送，充分展现了在高产量製造（HVM）的环境下，维持生产周期所需的精准物流调度能力。
最令人叹为观止的，莫过于艾司摩尔（ASML）所製造的Twinscan NXE极紫外光（EUV）微影设备，这些机器是生产像是英伟达Blackwell B300等顶尖晶片不可或缺的设备。影片採用了类似电影《奥本海默》的史诗风格，展示了EUV设备如何运用二氧化碳雷射轰击锡液滴以产生电浆，进而将複杂的电路图精准地印製在晶圆上，整个过程中不断闪烁着耀眼的紫色电浆。
此外，这段影片也点明了EUV技术所面临的挑战，包含随机效应（stochastic effects）、必须将精准度控制在奈米等级，以及无法使用传统光学镜片，而必须採用特殊反射镜等问题。
目前，台积电已在Fab 21一期厂为包含苹果、英伟达、超微（AMD）在内的公司生产4奈米与5奈米製程的晶片，并且正积极建设Fab 21二期厂区，预计将具备量产3奈米和2奈米製程晶片的能力。
台积电董事长魏哲家日前表示，公司正积极寻找第二块大型土地，其目标是将亚利桑那州的厂区扩展为单月产能超过10万片的「超级晶圆厂群」（Gigafab cluster），以充分满足全球对于人工智慧（AI）和高效能运算客户的庞大需求。
